| 型 式 | UFE-1000JF |
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| メーカー | (株)大西熱学 |
| 仕 様 | 清浄度 :クラス1,000
高さ :2.5m 幅 :5.3m 奥行 :7.7m 設定可能温度 :20〜30度 |
<機器の概要>空気中の微小粒子を一定レベル以下に管理し、適切な温度を維持できる作業空間です。当施設では、1立方フィートあたり直径0.5μm以上の粒子数を1,000個以下の環境で精密な組立・試験作業を行うことができます。
<主な使用事例・特徴>
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| 設置年月 | 2003/3 |
| 担 当 者 | 機械・金属部 芦原 新産業創出研究部 元山 |
| 使 用 料 | 3,800円/1時間 |
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