抵抗加熱真空蒸着装置
| 型 式 | VPC-260F |
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| メーカー | アルバック機工�� |
| 仕 様 | 真空性能 ：1.3×10-3Pa（6.6×10-4Pa（液体窒素使用時））
排気系 ：油拡散ポンプ（空冷型）＋油回転真空ポンプ 基板サイズ：□50mm（推奨） 電極構成 ：1点式 蒸発電源 ：0〜10V、150A（最大） |
＜機器の概要＞金属などの材料を真空加熱して発生させた蒸発原子（または分子）を蒸発源から対向する基板上に向けて直進させ、その基板上で凝縮・堆積させて薄膜を形成する装置です。 （用途） ・電子材料、半導体、太陽電池等の基礎研究 ・有機EL 等の薄膜材料の研究開発 ・基板材料およびコーティング材の研究開発 ・装飾用の薄膜の研究
＜主な使用事例・特徴＞
太陽電池の金属電極の作製に使用しています。 ＜注意点＞ 蒸着する材料や蒸着源（ボートやフィラメント）は、使用者が準備して下さい。また、油拡散真空ポンプの液体窒素トラップを使用する場合も、同じく使用者側で液体窒素の準備が必要です。 使用後は、次回使用時のコンタミを防ぐため、真空チャンバー内の清掃をお願いいたします。 |
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| 設置年月 | 2023/1 |
| 担 当 者 | 新産業創出研究部 辻 機械・金属部 小林 |
| 使 用 料 | 600円／1時間 |
福井県工業技術センター
窯業指導分所
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