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蛍光Ｘ線膜厚計

型　　式 EA6000VX
メーカー �蠧�立ハイテクサイエンス
仕　　様 Ｘ線源　　　　　：Rh
測定可能元素　　：Na〜U(Heパージ仕様)
コリメータサイズ：0.2mm、0.5mm、1.2mm、3.0mm
試料ステージ　　：250×200mm
検出器　　　　　：Si半導体検出器
分析ソフト　　　：定性分析、バルクFP、バルク検量線、薄膜FP等
＜機器の概要＞
　試料にX線を照射し、その試料に含まれる元素に固有な蛍光X線が放出されることを利用して、金属上または非金属上の比較的薄いめっきの厚さを測定する装置です。また、コリメータサイズの微小領域の元素分析も可能です。
＜主な使用事例・特徴＞
　検量線試料を用いない薄膜FP法により、最大5層の膜厚・成分比の計算が可能です。薄膜検量線法は最大2層の膜厚測定が可能です。
　ステージサイズが250×200mmのため、比較的大きい試料でも前加工せずに測定が可能です。
設置年月 2020/11
担 当 者 化学・繊維部　小林　　機械・金属部　渡邉
使 用 料 2,800円／１時間　Heガスを使用する際は別途ご相談ください。