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電子プローブマイクロアナライザ(ＥＰＭＡ)

型　　式 JXA-8530F
メーカー 日本電子��
仕　　様 電子銃　　　　　　　　：電界放出形電子銃
波長分散形Ｘ線分光器　：４基
エネルギー分散形分光器：SD
結晶方位解システム　　：EBSD
分析元素　　　　　　　：Be〜U
＜機器の概要＞
　細く絞った電子線を試料表面に照射することによって構成元素に固有な特性Ｘ線と呼ばれる電磁波を発生させ、そのスペクトルから微小領域における構成元素の同定や濃度の分析を行う表面分析装置です。
　電子線の集束や走査を行う電子光学系は基本的に走査型電子顕微鏡と同じ構成であるため、分析箇所の高倍率観察や元素分布のマッピングも可能です。さらに、EBSDと呼ばれる検出器を備えており、試料表面の結晶方位を解析することも可能です。
＜主な使用事例・特徴＞
　微量元素の分析に強い波長分散型分光器と熱に弱い試料の分析に適するエネルギ分散型分光器の両方を備えておりますので、金属、無機、有機、生体組織などの固体分析に幅広く対応できます。
設置年月 2011/1
担 当 者 機械・金属部　佐々木、川栄、笠嶋　　　
使 用 料 9,880円／１時間