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電界放出型走査型電子顕微鏡(ＦＥ−ＳＥＭ)

型　　式 JSM-7600F
メーカー 日本電子��
仕　　様 電子銃　　　　：サーマルショットキー電界放出型電子銃
対物レンズ　　：セミインレンズ
二次電子分解能：1.0nm(加速電圧15kV)
　　　　　　　　1.5nm(加速電圧 1kV)
倍　率　　　　：25〜1,000,000倍
像の種類　　　：凹凸像、組成像、元素分布像
＜機器の概要＞
　安定した大電流が得られるサーマルショットキー電界放出型電子銃を用いた走査型電子顕微鏡です。対物レンズにはセミインレンズを用いているため、試料表面の高分解能観察が可能です。
　また、電子線を試料表面に照射するときに発生する構成元素に固有な特性Ｘ線を検出することで、試料の微小領域の元素分析も可能です。
＜主な使用事例・特徴＞
　繊維、プラスチック、セラミックス、金属などの試料表面の高分解能観察に使用しています。
設置年月 2009/2
担 当 者 化学・繊維部　帰山、近藤、中山　　　
使 用 料 6,800円／１時間