超精密加工特性評価システム(非接触3次元形状測定装置)
| 型 式 | NH-3SP |
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| メーカー | 三鷹光器�� |
| 仕 様 | 非接触3次元計測が可能
分解能 ：X,Y;0.01μm, Z;0.001μm 測定範囲：150×150×120mm 計測精度：X,Y;(0.5+2.5L/150)μm, Z;(0.1+0.3L/10)μm |
＜機器の概要＞レーザ光を用いて非接触での３次元形状計測が可能です。(透明体材料の計測も可)
＜主な使用事例・特徴＞
高さ方向の分解能が1nmで、レーザ顕微鏡よりも測定範囲が広いです。 測定対象例： ・非球面レンズの形状測定 ・金型の測定、粗さ測定 ・表面のキズ、欠陥の測定 |
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| 設置年月 | 2004/2 |
| 担 当 者 | 機械・金属部 芦原、上出 |
| 使 用 料 | 3,840円／１時間 |
福井県工業技術センター
窯業指導分所
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