インプラント材料へのセラミックスコーティング技術の開発

分野 化学・プラスチック(表面処理)
テーマ名 エアロゾルデポジション法による成膜技術の開発
目的  セラミックス粒子の噴射により常温で強化かつ高密着なセラミックスコーティングが可能であるエアロゾルデポジション(AD)法による成膜技術の開発を行うため、成膜装置の設計・製作を行う。また、AD法を用いて金属基材へのセラミックスコーティング技術を開発する。
成果  AD成膜装置の設計・製作を行い、噴射速度、距離、角度の調整および基材のXY自動走査が可能な成膜装置を製作した。
 製作した成膜装置により、金属基材等に膜厚数μmの緻密な酸化アルミニウムおよび二酸化チタン皮膜を形成することが可能となった。また、セバスチャンX型強度テスタによる密着強度評価により、金属基材上の酸化アルミニウム皮膜の密着強度が20MPa以上であることを確認した。

図1 AD装置

図2 AD膜の断面SEM像
(酸化アルミニウム / チタン合金)
担当
研究者
竹内雅則(専門分野:化学),レーザ・電子線研究G